DigitalArtSpace

Зеленоградский завод «Микрон», входящий в состав группы «Элемент», стал победителем тендера Министерства промышленности и торговли на создание автоматизированной установки «Лучник» для измерения рассогласования топологических слоев, не имеющей аналогов в России. Сумма контракта достигает 1,56 млрд рублей. Эта установка необходима для производства микросхем, обеспечивая высокую точность наложения слоев при формировании чипов на кремниевых пластинах. В рамках проекта планируется разработать российскую альтернативу американской системе ARCHER 10 XT от KLA Tencor.

«Установка «Лучник» будет обрабатывать пластины диаметром 150 и 200 мм, обеспечивая соответствие точности наложения слоев заданным нормам в пределах 130 нм, демонстрируя производительность не ниже 75 пластин в час. Для оперативного исправления хода технологического процесса будут применяться встроенные интерферометры и алгоритмы машинного зрения.

Создание подобной установки предполагает объединение усилий специалистов в области высокоточной механики, фундаментальной оптики и разработки сложного программного обеспечения. Для обеспечения перемещения предметного столика с точностью до нанометра необходимо изготовление линз с исключительно высокой числовой апертурой. Кроме того, завершение работ запланировано на июль 2029 года – это весьма строгие условия, особенно учитывая, что установка создается с нуля.

Для «Микрона» существует и дополнительный мотив, поскольку предприятие сочетает в себе функции разработчика и заказчика. Наличие действующего производства пластин диаметром 200 миллиметров дает возможность инженерам быстро тестировать прототипы в реальных условиях, что существенно увеличивает вероятность успешного завершения проекта «Лучник».

Похожие статьи

Новый алгоритм Дарвина-Гёделя учит искусственный интеллект самостоятельно программировать.

В США производят эффективные процессоры: тайванские чипы TSMC возвращаются на родину для завершения производства.

В продаже — новая Lada Granta с увеличенным дорожным просветом

Новые модели Kia могут появиться на российском рынке.

Недорогой аналог Toyota Camry с пробегом более 2000 км завоевал популярность

Рамный внедорожник BAW 212 T01 с мощным двигателем: «Китайский УАЗ» с комфортом.