«Росатом» начинает выпуск высокочистого гексафторида вольфрама для полупроводников.

Специалисты госкорпорации «Росатом» разработали технологию производства гексафторида вольфрама высокой чистоты. В России проектируется первая площадка для промышленного выпуска этого соединения с полным циклом: от реакторов до аналитического оборудования. НИИ НПО «Луч» ведёт разработку, создав опытные установки для двух этапов очистки — сорбционной и ректификационной. Также завершены методики контроля качества, позволяющие точно измерять количество примесей в материале, включая газовые и металлические.

Генеральный директор НИИ НПО «Луч» Павел Карболин сообщил, что удалось создать уникальное оборудование для нового производства.

Шестифтористый вольфрам находит применение в различных промышленных отраслях, например, при изготовлении полупроводников благодаря способности вступать в качественные реакции с кремнием, водородом, силаном и германом.

Похожие статьи
Не пропустите:  Самые популярные российские пикапы