Китайская фирма Shanghai Xinshang Microassembly начала коммерческое использование собственной литографической системы под названием AST6200. Оборудование прошло все этапы испытаний на одном из ведущих полупроводниковых заводов Китая и уже имеет подтвержденные заказы для регулярных поставок.

Данная литографческая машина, обозначенная как AST6200, не используется в производстве передовых микросхем, а ориентирована на создание элементов из карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия, фосфида индия и других подобных полупроводниковых материалов.

Данные технологии имеют высокий спрос в сфере электромобилестроения, развитии сетей пятого поколения (5G) и оптоэлектронных устройствах. Установка поддерживает пластины диаметром от двух до восьми дюймов и совместима с различными основами, включая кремний, карбид кремния, сапфир и арсенид галлия.

В конструкции предусмотрена собственная система линз для проецирования изображения, высокоточная технология выравнивания слоев, настраиваемая подсветка и автоматическая фокусировка. Дополнительные функциональные блоки обеспечивают работу со специфическими подложками и позволяют осуществлять совмещение как в прямом, так и обратном направлениях. Кроме того, компания самостоятельно создала программное обеспечение для управления оборудованием — начиная от драйверов аппаратной части и заканчивая управлением технологическим процессом.

Впервые система AST6200 прошла все необходимые тесты на предприятии уже в конце ноября 2025 года. После подтверждения ее эффективности и соответствия требованиям, крупный производитель начал выпуск данных систем серийными партиями.