Российская Федерация и Республика Беларусь объединяют усилия для создания инновационного оборудования, предназначенного для выпуска микроэлектронных компонентов. По информации издания CNews, в рамках партнерства с белорусской компанией «Планар» реализуется разработка ряда установок, необходимых для изготовления фотошаблонов и проведения процессов фотолитографии – важнейших этапов производства современных полупроводниковых приборов.

Как следует из данных Министерства промышленности России, данный проект включает в себя практически все стадии создания фотошаблонов — высококачественных стеклянных листов с нанесенным изображением будущей микросхемы. Именно посредством этих шаблонов схема проецируется на кремниевый субстрат во время процесса фотолитографии.

В рамках программы создаются:

• генератор изображений на фотошаблонах для техпроцессов 90–65 нм;
• установка контроля топологии фотошаблонов;
• система для нанесения меток, обеспечивающих точное позиционирование при перенесении изображения;
• устройство контроля расположения элементов топологии;
• лазерный комплекс для исправления несовершенств;
• комплекс контроля привносимой дефектности;
• система мониторинга нанесения полутоновых защитных слоев.

Завершение монтажа основной части оборудования намечено на 2026 год, а финальная готовность всего комплекса ожидается в следующем году.

Современные устройства предоставят возможность проведения полного цикла работ – от создания структуры будущей микросхемы до оценки ее качества и коррекции выявленных недочетов. К примеру, лазерное оборудование сможет корректировать незначительные ошибки непосредственно на фотошаблоне, что позволит избежать повторного производства для компаний-изготовителей. Дополнительное оснащение будет обеспечивать контроль за позиционированием компонентов и обнаруживать микроскопические дефекты, которые имеют решающее значение при создании многослойных современных интегральных схем.

Как отметил Роман Тиняев, представляющий Strategy Partners, ключевые навыки в создании подобного оборудования сконцентрированы у белорусской компании «Планар». Эта организация смогла сохранить традиции инженерной мысли, восходящие к советскому периоду. Российская Федерация выполняет роль заказчика и финансирует проект, а также отвечает за интеграцию разработанных решений.

Данная инициатива вписывается в рамки национальной программы по прогрессу электронного машиностроения. Согласно плану до 2030 года планируется заменить приблизительно семь десятых импортной техники и комплектующих, используемых при изготовлении микроэлектронных изделий. На поддержку этой программы зарезервировано свыше двухсот сорока миллиардов рублей.